技术中心

技术中心

产品中心

联系我们

企业名称:安徽歌博科技有限公司

电话:400-992-2816

手机:13731996508(微信同号)

邮箱:info@armstech.cn

传真:0551-62910135

地址:合肥市经开区繁华大道与创新大道交口工投二期A7栋

网址 :  www.armstech.com.cn 

动态流导法校准真空计的方法

您的当前位置: 首 页 >> 新闻中心 >> 检漏知识

动态流导法校准真空计的方法

发布日期:2020-11-17 作者: 点击:

动态流导法有时也称为动态流量法和小孔法校准,它是建立在气流连续性原理、分子流状态和等温条件基础上的,由于是动态校准,吸气和放气的影响很小。在分子流状态下,流导公为结构几何尺寸的函数,与压力无关。其校准下限随真空获得和小流量测量水平而延伸。是目前超高真空和极高真空的切实可行的校准方法。

  动态流导法校准原理是根据气体分子运动论原理,利用薄壁小孔作标准流导产生已知低压力的。

image.png 

图:动态流导法校准真空计的方法

  图是这种校准方法原理示意图。首先将校准室压力抽至校准压力下限以下2~3个数量级,这样计算校准压力时可忽略本底的影响。校准气体以稳定流量pG通过针阀K,由进气管注入校准室。气体以分子流流经一薄壁小孔并由真空系统抽除。在达到动态平衡时,在小孔上方的校准室建立起已知的低压力p,用它来校准真空计G。校准室的压力可由式29计算。

由于系统的有效抽速比小孔流导大很多,故使得小孔下游的压力户。远小于校准室压力p,这样小孔下游压力测量值误差对校准压力的影响很小。因此,只要根据校准气体流量qG、小孔流导C和小孔下游压力pb,就可以计算出校准室压力来。

校准气体的流量qG由流量计测量。流量范围为10-7~10-3Pam3s-1,其测量精度可达士O.5%,压力校准范围是10-5~lO-1Pa。

  由于很难测定微小的流量,也就直接限制了校准压力下限。采用分流的办法,能扩展压力校准下限,这就是二级动态流导校准法。


本文网址:http://www.armstech.com.cn/news/476.html

关键词:真空计,真空计校准,氦质谱检漏仪

最近浏览:

关于我们About us
技术中心About us
客户见证About us
联系我们Contact us

    企业名称:安徽歌博科技有限公司

    电话:400-992-2816

    机:13731996508(微信同号)

    邮箱:info@armstech.cn

    传真:0551-62910135

    地址:合肥市经开区繁华大道

    与创新大道交口工投二期A7栋

    网址 :  www.armstech.com.cn