规格：

类型：

不带气室需外接气源,适用于氦质谱检漏仪的校准

作为标准漏件，真实模拟工况

进气压力：≤2.0MPa

进气接口类型：内螺纹/快插

出气口类型：KF16

漏率： 10-3Pa.m3/s-10-10Pa.m3/s

漏孔元件：微通道