规格：

类型：

配合压氦罐和氦质谱检漏仪，可以满足GJB548B-2005《微电子器件试验方法和程序》泄漏检测标准。

参数

直径：120mm

深度：90mm

本底： 1×10^-10Pa.3/s

材质：304不锈钢

接口：KF25